東北大学工学研究科 ロボティクス専攻 ナノシステム講座 情報ナノシステム学分野

桑野・北吉・Minh研究室 Kuwano & Kitayoshi & Minh Lab.

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研究業績

特許

国内登録

  1. 微小攪拌分離装置(特許公開2010-269298)
  2. エレクトレット振動発電整流装置および振動発電整流装置の製造方法(特許公開2010-119280)
  3. エレクトレット機械電気エネルギー変換装置およびその製造方法(特許公開2009-207344)
  4. マイクロ発電装置(特許公開2009-171821)
  5. エレクトレット微小発電装置(特許公開2009-077614)
  6. 超小型イオン源装置および集積型超小型イオン源装置(特許公開2009-070749)
  7. 振動発電装置(特許公開2009-017769)
  8. 可調節機能付き弾性表面波機器(特許公開2009-165094)
  9. 微小機械-電気構造(MEMS)用の振動変位計測装置(特許公開2009-068841)
  10. 圧電素子による光学素子とその作成方法(特許公開2008-145506)
  11. シリコンウェハの表面処理法(特1217534)
  12. 微細パタン形成法(特1426964)
  13. 高速原子線源(特1885392)
  14. マイクロ高速原子線源(特1961224)
  15. 高速原子線源(特02021624)
  16. 粒子線源(特02021623)
  17. 粒子線源(特02021622)
  18. 乾式エッチング装置(特02004718)
  19. 真空計(特01993358)
  20. 分子センサー薄膜、その形成方法およびこれを用いた分子センサ(特01990249)
  21. 高速原子線源(特1940745)
  22. 高速原子線源装置(特01933589)
  23. 固体潤滑膜および作製方法(特1546890)
  24. 高融点・高沸点・高高度物質の硼化膜形成方法(特1882657)
  25. 二硫化モリブデン薄膜の作製方法(特01921157)
  26. 二硫化タングステン薄膜の作製方法(特1446730)
  27. ダイアモンド薄膜形成方法(特1597928)
  28. クロムの真空蒸着法(特1436683)
  29. スズの真空蒸着法(特1343837)
  30. 二次イオン質量分析計(特1877102)
  31. ホウ素薄膜の形成方法(特1882655)
  32. 薄膜形成方法および装置(特1873114)
  33. 高速原子線の起動装置(特1885411)
  34. 収束性高速原子線源(特1821789)
  35. 蒸着膜形成装置(特1590800)
  36. 固体潤滑膜の作製方法(特 1930406)
  37. 高速原子線源装置(特 1933589)
  38. 質量分析型ガス漏れ検知器に適用されるガス濃度校正法および校正器具(特 2625342)
  39. 質量分析型ガス漏れ検知器(特 2665432)
  40. 質量分析型ガス漏れ検知器の校正方法(特 2675954)
  41. 通気性防水栓(特 2683484)
  42. 混合ガス判別法(特 2723209)
  43. 電磁駆動型小型弁(特 2749231)
  44. 超音波式液面レベル計(特2962535)
  45. 火災報知器(特3006629)
  46. 近接視野顕微鏡(特3006638)
  47. 近接視野顕微鏡(特3033863)

47件163発明

外国特許

  1. Fire detection method and fire detection apparatus (USA and Europe, 98301886.2)

1件19発明

出願中

  1. 振動発電装置,特願2007-203642
  2. 微小機械ー電気構造(MEMS)用の振動変位計測装置,特願2007-234205
  3. エレクトレット微小発電装置,特願2007-270675
  4. 圧電素子による光学素子とその作成方法, 特願2006-329455
  5. エレクトレット発電整流装置, 特願2008-316231
  6. 微小攪拌分離装置, 特許,2009-140579
  7. マスクレスMEMSマイクロマシニング装置,特許,2005-017577
  8. マイクロインジェクタ,特許,2005-072176
  9. ナノ領域温度計測装置およびその作製方法,特許,2005-178959
  10. 細胞手術ツール,特許,2005-201302
  11. 圧電素子による光学素子とその作製方法,特許,2006-329445
  12. 超小型イオン源,特許,2007-240059
  13. 微小機械-電気構造(MEMS)用振動変位計測装置,特許,2007-234205
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